一、自動(dòng)補(bǔ)氣Torr托爾級(jí)壓力控制器EPC/壓力計(jì) 產(chǎn)品特點(diǎn)：

-- 測(cè)量范圍從10Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。

-- 精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。

-- 標(biāo)配一個(gè)壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測(cè)量和控制。

該基本數(shù)字PC具有測(cè)量和控制所需的所有基本功能。

-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號(hào)，還提供模擬I/O信號(hào)。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。

我們有不同系列的控制閥對(duì)應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥，高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥。

二、應(yīng)用領(lǐng)域：

-- 半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。

三、自動(dòng)補(bǔ)氣Torr托爾級(jí)壓力控制器EPC/壓力計(jì) 產(chǎn)品參數(shù)：（如所需參數(shù)與下述列舉不同，請(qǐng)另行溝通咨詢）