大流量氫氣質(zhì)量流量計(jì)可廣泛地應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中，其典型應(yīng)用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。

 

　　大流量氫氣質(zhì)量流量計(jì)的安裝注意事項(xiàng)：

　　安裝要求：

　　大流量氫氣質(zhì)量流量計(jì)安裝時(shí)最好保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作，流體流向必須與傳感器表體上的流向箭頭保持一致，傳感器兩邊的法蘭必須保持平行，否則容易泄漏，流量計(jì)的電極輸線必須近似水平，否則影響測(cè)量精度，傳感器測(cè)量管在使用中被測(cè)介質(zhì)必須保持滿(mǎn)管狀態(tài)，盡量避開(kāi)鐵磁性物體及具有強(qiáng)電磁場(chǎng)的設(shè)備，如大型電極、大變壓器等，以避免外界磁場(chǎng)影響傳感器的工作磁場(chǎng)和流量信號(hào)。

　　安裝環(huán)境要求：

　　避免環(huán)境溫度高于60℃及相對(duì)濕度大于95%，為避免在安裝后形成漩渦流動(dòng)，應(yīng)保證工藝配管、密封件、流量計(jì)同軸連接不能錯(cuò)開(kāi)，選擇活動(dòng)空間較大的管段安裝，便于后期的維修，調(diào)節(jié)閥應(yīng)安裝在傳感器的下游5D以外處，若必須安裝，需安裝在傳感器上游，并保證傳感器上游直管段不小于50D，流量傳感器雖然結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，但從測(cè)量原理而言在選擇安裝場(chǎng)所時(shí)，應(yīng)盡量避，免機(jī)械振動(dòng)或碰撞沖擊，如果安裝在振動(dòng)較大的管道上，則需安裝管道支撐進(jìn)行緩沖。