氣體流量的定量控制

氣體流量控制器在一些應(yīng)用中需要用到充氣量的累積值，那么如何精準(zhǔn)控制累積充氣量呢？

在我司的MFC功能中，設(shè)置了到累積流量值后自動設(shè)定瞬時流量值為0 的功能。

首先在表體內(nèi)設(shè)定所需要的累積流量（累積氣量），然后設(shè)定進(jìn)氣的實時流量（瞬時流量），MFC會開啟累積功能，當(dāng)累積流量達(dá)到所設(shè)定目標(biāo)值后，就會自動停止供氣。

這種控制方式既可以在表體屏幕上操作也可以通過電腦等上位機控制，配備有485Modbus通訊。

此款流量控制器的其它技術(shù)參數(shù)如下：(另有0.5%FS精度可選）

技術(shù)指標(biāo)：

ACU10FD-LC 質(zhì)量流控制器

量程范圍：2SCCM ～ 300SLM

控制器閥控范圍： 50：1

準(zhǔn)確度：±1.0%F.S

線性：±0.5%F.S

重復(fù)精度：：±0.2%F.S

響應(yīng)時間：<1.5S

數(shù)字量：RS232/485，MODBUS 協(xié)議

模擬量：0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V

供電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0 ～ 50℃

工作壓差：0.05 ～ 0.5MPa；

最大耐壓：3MPa/10MPa

電氣連接：DB15 孔

漏率：1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì)：不銹鋼

密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠

接頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，1/2"。。。卡套，VCR..(可按客戶要求匹配）

如果有其它定制參數(shù)請與頁面的產(chǎn)品經(jīng)理溝通。